芯片产业链

概伦电子、华大九天、广立微

安路科技、复旦微电、紫光国微

海光信息、龙芯中科、寒武纪

(1)光刻机:上海微电子(未上市,张江高科持股)

(2)刻蚀机:中微公司、北方华创


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