1）半导体设备类（21年国产化率及代表公司）光刻机：1%至3%，代表公司：上海微电子；ALD：3%，北方华创、拓荆科技；离子注入：3%，万业企业、中科信；量测：9%，...

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1）半导体设备类（21年国产化率及代表公司）

光刻机：1%至3%，代表公司：上海微电子；

ALD：3%，北方华创、拓荆科技；

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